鎢燈絲掃描電鏡使用時(shí)的注意事項(xiàng)

　　如何制取樣品？

　　首先看樣品是否導(dǎo)電，如果導(dǎo)電的話，要正確的取材，然后清潔樣品表面，將樣品固定好，進(jìn)行腐蝕、電解拋光等處理，然后在高真空下觀察；如果樣品不導(dǎo)電，要看它是否可以噴金，可以噴金的樣品，當(dāng)正確取材、清潔表面后，再對其進(jìn)行噴完金處理，然后按照上面所述的步驟進(jìn)行，如果不可以噴金，正確選材、清潔表面、固定樣品后，要在低真空下觀察。

　　掃描電鏡測試對樣品的基本要求是？

　　能提供導(dǎo)電和導(dǎo)熱通道，不會(huì)被電子束分解

　　在電子束掃描下具有良好的熱穩(wěn)定性，不能揮發(fā)或含有水分

　　樣品大小與厚度要適于樣品臺(tái)的尺寸

　　樣品表面應(yīng)該清潔，無污染物

　　磁性樣品要預(yù)先去除磁性

　　影響鎢燈絲掃描電鏡分辨率的因素？

　　1，電子束的實(shí)際直徑；電子束的直徑減小，分辨率提高，但是實(shí)際直徑小到一定程度時(shí)，很難激發(fā)出足夠的信號(hào)。所以理想的電子束需要尺寸小而且束流大。

　　2，電子束在試樣中的散射；電子束進(jìn)入試樣后，受到試樣對電子的散射，從而電子束直徑變寬，降低了分辨率，這種散射效應(yīng)取決于加速電壓的大小和試樣本身的性質(zhì)。

　　3，信號(hào)噪聲比。噪聲來源于兩個(gè)方面：點(diǎn)噪聲、統(tǒng)計(jì)漲落噪聲。提高信噪比可以：

　?、偬岣咝盘?hào)電流，②采用長的幀掃描時(shí)間，③減少像元數(shù)目，但是會(huì)降低圖像的清晰度。故提高信噪比的有效途徑是提高電子束的亮度或適當(dāng)延長幀掃描的時(shí)間。

　　工作電壓、工作距離、束斑尺寸各自對掃描電鏡的成像質(zhì)量和分辨率有什么影響？

　　工作電壓給電子槍提供高壓從而產(chǎn)生電子源，電壓越高，分辨率越高

　　工作距離樣品和物鏡之間的距離，縮短工作距離可以提高圖像分辨率；（樣本表層到末級(jí)聚光鏡(通常我們叫他物鏡，但不準(zhǔn)確)的極靴的距離）

　　因?yàn)橐话銇碚f，束斑小的分辨率高。但束斑小相應(yīng)的束流也小，轉(zhuǎn)化為成像信號(hào)的電子也少，而統(tǒng)計(jì)噪音是固定的。當(dāng)信號(hào)值低于噪音的3倍時(shí)，將無法識(shí)別信號(hào)代表的信息。信噪比是限制成像分辨率的一個(gè)重要基本因素。相同的掃描區(qū)域，小束斑漏掃地方太多，所以邊緣不平滑。

　　泄真空時(shí)，為什么要關(guān)閉高壓（HV）后，等待一定時(shí)間后再卸真空？

　　鎢燈絲一般處于2700K的高壓，當(dāng)關(guān)閉高壓時(shí)，燈絲依舊還很熱，如果此時(shí)泄真空的話，會(huì)氧化燈絲，嚴(yán)重的話，會(huì)使燈絲壞掉；時(shí)間長了，也會(huì)影響整個(gè)鏡筒的狀態(tài)，整個(gè)鏡筒會(huì)產(chǎn)生氧化膜，影響分辨率。